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又稱為砷化氫、砷化三氫、甲鍺烷、是一種有毒、易燃的氣體(化學(xué)式：AsH3)
砷烷是一種溶血性毒物，可中毒神經(jīng)。 用 途： 砷烷用于半導(dǎo)體工業(yè)中外延硅的“N”型摻雜，硅中“N”型擴(kuò)散，離子注入，生長(zhǎng)砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)以及與Ⅲ/V族元素形成的化合物半導(dǎo)體。 工業(yè)上生產(chǎn)的砷烷用于有機(jī)合成，同時(shí)應(yīng)用在太陽(yáng)能光伏行業(yè)、集成電路等。
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